有機廢氣處理在實際使用中應當選擇什么工藝

 

有機廢氣處理法主要有吸收法、吸附法、燃燒法、生物法等處理技術。吸收法是使用有機氣體水溶性的***性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此辦法因添加氧化劑不光處理本錢添加，且易構成二次污染，故吸收法未得到遍及使用。生物處理法是使用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質。生物處理法運轉費用低，二次污染小，但處理條件嚴、繼續時刻長，占地面積***，故實際使用較少。燃燒法是使用高溫燃燒進程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，依據廢氣的燃燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的燃燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒燃化二類，因觸媒式易形成觸媒毒化，故很少選用這種辦法。吸附法是使用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子別離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路工業的辦法有吸附法和燃燒法。

 

有機體系由高溫轉輪設備和活性炭吸附設備構成。有機廢氣經過預過濾器，除掉塵埃顆粒，維護下流的設備；經過原氣體冷凝器，除掉高沸點有機物甲基乙基酮MEA，維護高溫轉輪設備內的吸附劑；經過加熱器，加熱冷凝后的有機廢氣至30。C左右，這樣能夠進步有機物吸附率；接著經過G—AC過濾器，再次過濾去除高沸點有機物。廢氣送風機將有機廢氣送人高溫轉輪設備進行吸附。高溫轉輪分為前后二室，并裝有一個***轉盤，轉盤上裝有紙質活性炭過濾器。有機廢氣過濾和吸附后排人***氣中，吸附后的轉盤轉入另一室內，通入150。C左右的熱空氣進行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體經過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設備，被濃縮氣體送風機送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附后排放于***氣中。吸附筒的活性炭經過水蒸氣及壓縮空氣操控吸附桶上下擋板動作來完結解吸附，解吸附后的水蒸氣經冷凝后變成濃縮液收回。此流程規劃的有機廢氣含異丙醇、醋酸丁脂、二甲基亞砜、苯類等，有機氣體濃度為65ppm，經高溫轉輪設備處理，均勻去除率可達90％以上，排放到***氣中的有機氣體濃度小于6．5ppm，濃縮氣體的體積約為原廢氣的1／15左右，濃度為原廢氣的12～13倍左右，活性碳吸附設備均勻去除率可達95％以上。實際數據標明其非甲烷總烴排放濃度為1．55—90mg／m，排放速率為0．010～0．155kg／h，均能到達相應的排放規范。其運轉處理作用杰出。

 

沸石濃縮轉輪催化燃燒法也是現在被集成電路企業所廣泛選用的有機氣體處理辦法。有機廢氣進入沸石轉輪，轉輪上的沸石吸附了廢氣中***部份有機成分，而使廢氣中有機成分的含量***幅低下降而成為較潔凈的空氣，一部分較潔凈的氣體排放至***氣中，而另一部份氣體則進入再生區，經再生區后的廢氣則含有高濃度的有機成分，這樣可下降后續處理程序的操作本錢。使用沸石濃縮轉輪將***風量低濃度的廢氣濃縮為小風量高濃度，再以直熱式(燃氣式燃化的方法，將有機成分轉化為無害的CO：和水，以到達去除有機物的意圖。沸石轉輪濃縮燃燒體系的***點是能夠進行動態吸附和解析，不存在吸附劑的飽滿問題，恰當的調整轉輪的轉速，再生溫度、風量等，可得到適當杰出的作用，關于有機成分的去除率在90％左右，濃縮倍數可達5-20。